Parylene Beschichtungsprozess

Parylene-Prozess

Das Beschichten mit Parylen ist ein dreistufiges Verfahren, bei dem das Parylen in seiner Monomerform in einer Vakuumkammer auf dem Substrat abgeschieden wird, um eine polymerkonforme Beschichtung aufzubauen.

1. Verdampfen

Der erste Schritt ist die Verdampfung von festem Dimer. Das Dimer wird auf eine Temperatur von 175°C erhitzt und wird dadurch gasförmig.

2. Pyrolyse

Das Gas wird dann pyrolysiert (thermochemische Spaltung organischer Verbindungen), um das Dimer in seine monomere Form umzuwandeln.

3. Abscheidung (Deposition)

Das monomere Gas wird in der Abscheidekammer bei Raumtemperatur als transparenter Polymerfilm abgeschieden. Die erhaltene Beschichtungsdicke kann mit der Anwendung variieren und kann zwischen 1 µm und bis zu 50 µm betragen.